







真空計算公式是真空領域中非常重要的工具,通過這些公式,我們可以方便地進行真空度的測量、真空系統的設計和優化等。
1、玻義爾定律
體積V,壓強P,P?V=常數(一定質量的氣體,當溫度不變時,氣體的壓強與氣體的體積成反比。
即P1/P2=V2/V1)
2、蓋?呂薩克定律
當壓強P不變時,一定質量的氣體,其體積V與溫度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常數)
當壓強不變時,一定質量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。
3、查理定律
當氣體的體積V保持不變,一定質量的氣體,壓強P與其他溫度T成正比,即:P1/P2=T1/T2
在一定的體積下,一定質量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強比原來增加(或減少)1/273。
4、平均自由程:
λ=(5×10-3)/P (cm)
5、抽速:
S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P
Q=流量(托?升/秒) P=壓強(托)V=體積(升) t=時間(秒)
6、通導:
C=Q/(P2-P1) (升/秒)
7、真空抽氣時間:
對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式: t=8V/S (經驗公式)
(V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內選擇。)
8、維持泵選擇:
S維=S前/10
9、擴散泵抽速估算:
S=3D2 (D=直徑cm)
10、羅茨泵的前級抽速:
S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)
11、漏率:
Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏-系統漏率(mmHg?l/s) V-系統容積(l)
P1-真空泵停止時系統中壓強(mmHg)
P2-真空室經過時間t后達到的壓強(mmHg)
t-壓強從P1升到P2經過的時間(s)
12、粗抽泵的抽速選擇:
S=Q1/P預 (l/s)
S=2.3V?lg(Pa/P預)/t
S-機械泵有效抽速 Q1-真空系統漏氣率(托?升/秒)
P預-需要達到的預真空度(托) V-真空系統容積(升)
t-達到P預時所需要的時間 Pa-大氣壓值(托)
13、前級泵抽速選擇:
排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,
它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的
最大氣體量排走,根據管路中,各截面流量恒等的原則有:
PnSg≥PgS
